product category
maHvaD contact

haohai baS meterials co., Ltd.

haohai Titanium co., Ltd.


adress:

plantno.19, tuspark, centuryavenue yIHegh.

xianyangcity, shaanxipro.. 712000, jungwoq


tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


nav:

+86 29 3315 9049


e-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



chavmoH hotline
029 3358 2330

De'

JuH > De''a ghIH

Sprengimörkarmörk fyrir inert gas

Króm sputtering miða

1) Sprengingarmarkmið fyrir króm:

Orthorhombic segulsvið og rafmagnsvettvangur er beitt á milli sprautunarmarkmiðsins (katódes) og rafskautsins og nauðsynlegt óvirkt gas (venjulega Ar gas) er hleypt í hávökvahólfinu. Varanleg segull myndar 250 til 350 á yfirborði miðju Gaussísku segulsviðsins, með háspennu rafmagnsvettvangi sem samanstendur af orthogonal rafsegulsvið. Undir virkni rafmagnssvæðisins er Ar gas jónnað í jákvæðar jónir og rafeindir, markið er bætt við ákveðna neikvæða háþrýsting, rafeindirnar, sem eru losaðir frá markinu, verða fyrir áhrifum segulsviðsins og jónunar líkurnar á vinnslugasanum eykst , Mynda hárþéttniplasma í nánd við bakskautið. Líkaminn, Arjónir í hlutverki Lorentz, þvinga til að flýta fluginu á markflötið, við sprengju á markflötinu með miklum hraða þannig að sputten á miðategundunum fylgi Skriðþunga viðskipta meginreglan með mikilli hreyfigetu frá miða fljúgandi undirlagið er afhent og afhent. Magnetron sputtering er almennt skipt í tvenns konar: DC sputtering og RF sputtering, DC skvetta tæki sem er einfalt í grundvallaratriðum, í sputtering málm, hlutfall hennar er einnig hratt. Notkun RF sputtering er víðtækari, auk sprautunar leiðandi efni, en einnig sputtering óleiðandi efni, en einnig er hægt að hvarfa sputtering undirbúningur oxíða, nitríða og karbíða og annarra efnasambanda. Ef tíðni útvarps tíðninnar eftir sprautun örbylgjuofnplasma, og nú, almennt notað rafeindastyrkur (EBR) gerð örbylgjuofnplasma sputters.

2) Mælunarflokkar í ristli:

Metal sputtering lag miða, málm sputtering lag miða, keramik sputtering lag miða, bóríð keramik sputtering miða, karbít keramik sputtering miða, flúor keramik sputtering miða, nítríð keramik sputtering Markmið, oxíð keramik miða, selenide keramik sputtering miða, kísil keramik sputtering miða, súlfíð Keramik sputtering miða, Telluride keramik sputtering miða, önnur keramik miða, króm-doped Kísill keramik miða (Cr-SiO), Indium fosfíð miða (InP), leiða arseníð miða (PbAs), Indíum arseníð miða (InAs).