product category
maHvaD contact

haohai baS meterials co., Ltd.

haohai Titanium co., Ltd.


adress:

plantno.19, tuspark, centuryavenue yIHegh.

xianyangcity, shaanxipro.. 712000, jungwoq


tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


nav:

+86 29 3315 9049


e-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



chavmoH hotline
029 3358 2330

De'

JuH > De''a ghIH

Greining á segulsviðsskipulagi á málmþrýstingarmælum

Greining á segulsviði fyrirkomulagi magnetron Metal Sputtering Markmið

Á undanförnum áratugum hefur magnetron sputtering orðið einn af mikilvægustu aðferðum við afhendingu húðunar. Víða notuð í iðnaðarframleiðslu og vísindarannsóknum. Eins og í nútíma machining iðnaður, notkun magnetron sputtering tækni í workpiece yfirborði plating hagnýtur kvikmynd, superhard kvikmynd, sjálfsmeltandi kvikmynd. Á sviði ljósfræði, notkun magnetron sputtering tækni til að undirbúa andstæðingur-hugsandi kvikmynd, lág geislun kvikmynd og gagnsæ kvikmynd, einangrun kvikmynd. Á sviði örgjörva og sjón, segulmagnaðir upptökur sviði magnetron sputtering tækni gegnir einnig mikilvægu hlutverki. Hins vegar hefur magnetron sputtering tækni einnig sína eigin galla, svo sem lágt marknýting, lágt útfellingartíðni og lágt jónunarhraði. Markmið um málmþrýsting Markmið nýtingarhlutfallið stafar af tilvist markbrautarinnar, þannig að plasmaþéttingin á markhópnum á svæðinu, sem leiðir til svæðisbundinna málmþrýstingsmarkmiða. Lögun flugbrautarinnar er ákvörðuð af segulsviðsbyggingu á bak við markið. Lykillinn að því að bæta nýtingu markmiðsins er að breyta segulsviðsuppbyggingu þannig að plasma sé til staðar í stærri markhópnum til að ná fram samræmda yfirborði. Fyrir sprauta segulmagnaðir er hægt að auka sprautunarávöxtunina með því að auka markmiðið, en markið getur verið bráðnað og sprungið vegna hitauppstreymis. Þessar vandamál geta verið gerðar þegar um er að ræða sama markhóp

Sprengingarsvæði markhópsins er aukið, sem leiðir til lækkunar á styrkþéttleika markhópsins. Þannig hefur segulmagnaðir segulsviðshönnun með segulmagnaðir segulsvið verið stöðugt að bæta. Sem er dæmigerð eins og: sprautunarmiðja með hringlaga flugvél, með skynsamlegri hönnun segulsviðsins, þannig að myndun flugbrautarinnar í gegnum miðju miðlínuyfirborðsins, Metal Sputtering Markmiðið er að nota vélknúnar sendibúnaðar snúningsmagnar til að ná fram miða yfirborð fullrar sputters; rétthyrnd flugvél segull Sprenging uppspretta, í gegnum sending kerfi til að sameina segulmagnaðir á bak við markið að gera demantur-laga eða plum-laga hreyfingu, þannig að heildarmarkmið nýtingu hlutfall 61%; í gegnum segulmagnaðir hringrásina með aðlögun til að ná hámarksþrepi á lágljósinu á marklínunni. Uppbygging segulsviðsins getur einnig bætt einsleitni kvikmyndarþykktarinnar. Með því að stilla styrk segulsviðshlutfallsins og þróun ójafnvægis magnetron sputtering tækni, en einnig hefur hlutverk jónhúðunar. Þannig að segulmagnaðir hringrásarhönnunin er mikilvægasti hlutinn í sprautunarheimildinni.

Magnetic Field fyrirkomulag Magnetron Metal Sputtering Markmið

Í planar segulmagnaðir Metal Sputtering Markmið, er segullinn settur á bak við markið og segulsviðið sem liggur í gegnum yfirborð marksins myndar segulsvið á yfirborði marksins. Þar sem segulsviðið B, sem er samsíða miðjuyfirborðinu og rafskautinu E í lóðréttu miðlínu, myndar svifsvið E × B samhliða miða á borði. Hraunarsvæðið E × B hefur áhrif á rafeindir á gildrunum, málmþrýstingarmarkmiðir auka þannig rafeindagildi markhópsins, auka líkurnar á árekstri milli rafeindanna og hlutlausa gas sameinda og auka jónunarhraða sprautunarinnar gas Sprenging hlutfall.